共有13项测试，如IES-RP-CC006.2 [4]所列，分三大类：

基本项目

• 风量，风速及均衡性:
  此项测试是用于检测洁净室或洁净区内气流的平均流速或一致性，同样可得出供气量及流速或一致性。
• 过滤器安装检漏:
  此项测试是用于确认过滤器是否正确安装，过滤器的边缘以及中间隔离层是否有破裂及小漏洞。
• 粒子数量测试:
  此项测试是用于决定洁净室空态、静态或动态下是否能符合FS-209E的相关规定的等级。
• 洁净室压力测试:
  此项测试是研究洁净室系统是否有能力维持洁净室与周边空间保持特定的压力。

• 气流平衡性测试:
  此项测试用于发现整个工作区气流的平衡性是否洁净室有能力限制内部污染的分散。
• 洁净室完整性测试:
  此项测试用于查看于洁净室的连接处，密封处及过道是否有未过滤的空气渗入。
• 洁净室还原性测试:
  此项测试用于考察洁净室在暴露于悬浮颗粒下是否有能力恢复原来的洁净等级。
• 颗粒尘降测试:
  此项测试用于计算大颗粒的悬浮粒子（那些无法由粒子计数器有效测量到的）。

• 光照度测试:
  此项测试用于考察室内的光照强度或均衡性。
• 噪声测试:
  此项测试用于测算洁净室机械电子系统产生的噪音。
• 温湿度测试:
  此项测试用于考察洁净室控制系统是否能维持空气的温度和湿度。
• 震动测试:
  此项测试用于测试洁净室内的震动水平。
• 地板和墙板的静电传导性测试:
  此项测试是研究洁净室内地板及墙板的静电传导性能。