流量范围：H：300-30,000 sccm  M: 50-5,000 sccm   L: 5-500 sccm
体积精度：0.75%                   0.75%            0.75%
标准精度： 1%                    1%               1%
压力精度：都是+/-3.5 mmHg (typical)  +/-7.0 mm (max)
温度精度：都是+/- 0.8 oC (typical)   1.3 oC (max)

优点：与传统流量计相比技术，质量与性能都有所增强，
      启动迅速，液晶显示屏，用户可选流量单位与测试间隔时间；
      它可以提供实时的气体流量监测，流量计中还集成了温度与压力传感器，
      可以补偿标准的测量条件，使测量更加精准。