QUEST首页 - 产品 - 半导体 - AP标准PSL硅片 - PSL Wafer
在1992年末成立于科罗拉多州，Applied Physics (AP)公司的产品销售分布在欧洲，亚洲，美国，加拿大和美国南部。Applied Physics (AP)，是在亚洲，欧洲和美国的领先颗粒污染控制设备的供应商。他们能提供巧妙的解决方安到复杂的颗粒污染问题解决方法。其中包括生成，沉积，取样从和/或检测3纳米到10微米的纳米颗粒。周密的显示功能，特点和接口，加上先进的技术都体现在每一个产品。

原厂链接：www.AppliedPhysicsUSA.com
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AP (PSL 晶片标准):
• 清晰可见的定点位置，剩余的晶圆片表面没有任何沉积。
• 帮助确定是否PSL校准晶片太脏使用于作为参考标准。
• 点沉积迫使所需的所有PSL球体在一个受控的“点”位置上，因此形成很少PSL球体和更高的计算精度的结果。
• Applied Physics使用2300xp1与微分迁移率分析仪（DMA）确保起源于NIST 的PSL尺寸输出和计算是准确的。
•  CPC粒子计数器用来控制计数的准确性。
• 在背景下最大限度地减少不必要的被沉积的霾，双峰和三峰
PSL和NIST SRM粒子尺寸标准：100mm，150mm，150mm，200mm&300 mm晶片，基础硅片
1_PSLCalibrationWaferStandards_1Aug12.pdf
PSL Wafer-cn.pdf

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