早在1985年,马寺松气体公司的Nanochem净化器便开始为电子行业提供前所未有的净化解决方案。Nanochem净化器是第一台可为半导体行业提供高达9个9'的气体纯度的净化器。而今,Nanochem净化器已成为能全面满足特种气体用户各种要求的解决方案。

原厂链接:www.mathesongas.com
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1.为稳定加工提高和确保气体纯度
2.提高工艺性能和产量
3.保护仪器免受腐蚀
Mositure<100ppb in HBr
        <150ppb in HCl
HBr中水份<100ppb
HCl中水份<150ppb

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