由于超高纯气体在半导体生产过程中不可或缺,气体的品质及其稳定性变的尤为重要. 由此CQC系统也应运而生。CQC系统主要由气体的水分分析仪,氧分分析仪,颗粒分析仪和气象色谱分析仪组成,针对气体中的水分, 氧分, 固体颗粒物,碳氧化合物,碳氢化合物,氮, 氢等杂质气体的含量进行测量监控。目前,我司和Tigeroptics/MCM水分仪,Servomex氧分仪,PEAK气相色谱仪,PMS/Accudevice颗粒仪等国际知名品牌有良好的合作关系,这些品牌是目前半导体行业中最主流的CQC设备品牌
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由于超高纯气体在半导体生产过程中不可或缺,气体的品质及其稳定性变得尤为重要,因此CQC西也应运而生。
CQC系统主要由气体的水分分析仪,氧分分析仪,颗粒分析仪和气相色谱仪组成,针对气体中的水分,氧分,固体颗粒物,碳氧化合物,碳氢化合物,氮,氢等杂质气体的含量进行测量监控。

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